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荷蘭芯片觀察者:中國企業已經具備了比肩ASML的能力,正在為突破光刻機的封鎖持續積累經驗

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01

前沿導讀

荷蘭半導體觀察者、《新鹿特丹商報》科技專欄記者馬克·海金克在接受觀察者網采訪時表示:

中國區業務對ASML來說非常重要,美國的持續出口限制,損害了ASML的經濟利益,不過我認為ASML最擔憂的壓根就不是經濟上面的損失,而是中國本土競爭對手的崛起。

中國空缺出來的光刻機市場,將會被中國本土企業接手,盡管中國企業的設備沒有ASML那么頂尖,但是中國企業可以在發展中持續積累經驗,這是至關重要的一方面,而且中國企業還會獲得更多的資金來打造國產設備。

在開發先進的國產DUV光刻機上面,中國企業已經取得了顯著的技術進步,但距離大規模應用還有一段時間,未來的中國芯片會變得越來越自立自強。


參考資料: 馬克·海金克:獨家對話|“對于中國市場,這才是阿斯麥的主要擔憂” https://www.guancha.cn/xinzhiguanchasuo/2024_11_05_754180.shtml

02

產業短板

在談論到中國在開發自主光刻機上所暴露出來的問題時,海金克指出:

ASML能成功,核心因素是這個公司只專注于制造光刻機這一件事,并且為了這一件事積累了40多年的技術經驗,這種極高的專注力造就了ASML如今的光刻機統治者地位。并且ASML的光刻機遍布全球晶圓廠,這些國際客戶為ASML貢獻了大量使用數據,這些數據讓ASML不斷優化產品。


將目光放在中國企業身上,中國本土晶圓廠一直都是以采購ASML的設備為主,ASML的設備技術成熟,效率高,可以大批量制造特定的芯片產品。

據ASML官方財報顯示,2024年以及2025年ASML的中國區業務依然強勁,甚至在2024年第三季度,中國市場為ASML貢獻了總營收的48%,是ASML的國際第一大客戶市場。雖然中國對進口光刻機的需求一直居高不下,但中國本土的自主技術也在持續推動。

EUV光刻機被持續封鎖,中國企業只能用所持有的ASML DUV光刻機去制造先進芯片。盡管這種方法的經濟性較差,但確實可以解決先進芯片的短缺問題。


美國的出口管制,讓中國企業被迫走上自立自強的技術道路。采購ASML的設備并不是長久的打算,打造國產技術的先進光刻機是中國企業的最終目標。

中國企業制造了全球將近三分之一的傳統成熟芯片,是成熟芯片的全球第一大供應商。采購ASML的光刻機使用,一方面可以保證成熟芯片的產能,為全球產業提供基礎芯片,另一方面也可以在使用ASML光刻機的過程中逐步學習技術經驗。


ASML的某些設備被禁止運送到中國市場上,而中國企業采購設備所預留的資金,也自然而然的放在了本土企業身上,推動自主技術發展。

現在的中國企業已經具備了在光刻機研發上面的專注性、清晰的技術路線以及充裕的資源投入,構建出一條屬于中國技術的產業模式。

03

產業融合

在ASML創立的時候,全球范圍內有多個光刻機產業的競爭者,其中包括了美國GCA、珀金埃爾默、日本的佳能、尼康等企業。但是在隨后的競爭當中,ASML打敗了所有人,成為了該產業唯一的贏家。

其成功的因素一方面是與國際產業的深度合作,其中包括了加入美國EUV LLC技術聯盟、收購美國硅谷集團、收購美國西盟公司、出售股權換取蔡司入股等政策。另一方面就是ASML堅持技術研發,通過后續的力量反超競爭對手。


中國的光刻機產業,與當年ASML的產業路線如出一轍。

根據清華大學與長春光機所發布的官方新聞表示,2016年,清華大學通過了光刻機雙工件臺系統樣機的研發項目驗證,長春光機所也在這一年中通過了極紫外光刻原理裝置的驗證。


該技術裝置由長春、成都、上海三家光機所參與研發,中科院微電子所、北京理工大學、哈爾濱工業大學等高校聯合進行技術攻堅,預計最快到十五五規劃結束的2030年,實現EUV光刻機整機的國產化制造。

參考資料: 綜合新聞----中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 http://www.ciomp.ac.cn/xwdt/zhxw/201611/t20161130_4713258.html

早在2008年的時候,我國就將DUV以及EUV光刻技術列入“32-22nm裝備技術前瞻性研究”的重點推進項目。當時已經量產商用的國際光刻機技術為干式技術,先進的浸潤式和EUV均還處于技術開發階段。

參考資料: 媒體長光----中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 http://ciomp.cas.cn/mtcg/201707/t20170711_7929605.html

從技術立項的時間來看,我國的光刻機產業與國際水平并駕齊驅。但ASML聚集了歐美、亞洲地區的技術資源,背后還有美國資本的推動,率先完成了浸潤式技術和極紫外技術的開發,成為了行業領先者。


擁有了技術優勢,ASML將先進的光刻機推向市場。從商業角度來說,相對于花費大量資源自主研發,直接采購ASML設備是最穩妥的選擇,這也極大減緩了中國自主光刻機的研發進度。

在美國實施出口管制之后,切斷了中國與國際產業鏈的合作,迫使中國企業將目光重點放在了自主技術的開發上。在大環境的推動下,逐步走向自立自強。

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