光刻機(jī)之所以備受關(guān)注,主要是因?yàn)樾酒圃旄倦x不開它,而美方為了阻撓我們芯片產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展,又不斷擴(kuò)大光刻機(jī)對(duì)華限制范圍,導(dǎo)致我們只能推進(jìn)國(guó)產(chǎn)替代。
目前,全球光刻機(jī)技術(shù)最先進(jìn)的是荷蘭ASML,其高端EUV和先進(jìn)浸潤(rùn)式DUV被限制對(duì)華出口,因此我們只能研發(fā)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)。那么進(jìn)展如何呢,近日高盛發(fā)布消息。
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大家應(yīng)該都了解,光刻機(jī)的先進(jìn)程度決定著芯片制造工藝的先進(jìn)程度,進(jìn)入7nm制程以下就需要使用高端EUV光刻機(jī),2nm及以下制程要用更先進(jìn)的High NA EUV。
然而,EUV光刻機(jī)目前只有荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML一家能夠生產(chǎn),且其又依賴美方的關(guān)鍵零部件,因此出貨就受到美方和荷蘭禁令影響,先進(jìn)光刻機(jī)對(duì)華出口受到限制。
這導(dǎo)致大陸晶圓廠不能獲得獲得的光刻機(jī),目前芯片制造最先進(jìn)水平才到7nm級(jí)別。
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不過,我們?cè)缇烷_始進(jìn)行國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)研發(fā),還擁有數(shù)量不多的芯片制造用前道光刻機(jī)廠商,目前全球僅有4家,分別是荷蘭ASML、日本尼康和佳能、我國(guó)上海微電子。
那進(jìn)展如何呢?近日,外資投行高盛發(fā)布了關(guān)于中國(guó)光刻機(jī)的最新研究報(bào)告,指出中國(guó)近年來半導(dǎo)體領(lǐng)域發(fā)展迅速,但半導(dǎo)體制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的光刻機(jī)研發(fā)上仍存在瓶頸。
高盛報(bào)告顯示,目前中國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)仍停留在65納米,至少落后國(guó)際大廠約20年。
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高盛還在報(bào)告中指出,如今全球領(lǐng)先的晶圓制造大廠臺(tái)積電,已經(jīng)在利用ASML先進(jìn)的EUV光刻機(jī),大規(guī)模量產(chǎn)了3nm制程芯片,并且今年第四季度還將量產(chǎn)2nm。
而中國(guó)國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī)技術(shù)水平仍停留在相對(duì)陳舊的65nm制程,即使大陸最先進(jìn)的晶圓廠中芯國(guó)際能夠生產(chǎn)出7nm制程芯片,也是用ASML較舊的DUV光刻機(jī)來制造。
因?yàn)榇箨懩壳霸觳怀鲞@類先進(jìn)光刻機(jī),因?yàn)橄嚓P(guān)核心零部件來自歐美等全球的供應(yīng)商。
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高盛認(rèn)為我們國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)停留在65納米,應(yīng)該是基于我們工信部去年發(fā)布的重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄,其中提到兩款國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),一款分辨率小于等于65nm。
于是,高盛引述公開數(shù)據(jù)強(qiáng)調(diào),荷蘭ASML從65nm制程光刻機(jī)提升到低于3nm制程的光刻光刻機(jī),用了二十年時(shí)間,先后投入了高達(dá)400億美元的研發(fā)和資本支出。
經(jīng)過綜合考量后,高盛認(rèn)為中國(guó)光刻機(jī)在短期內(nèi)趕上西方先進(jìn)光刻技術(shù)的可能性較小。
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至于情況如何,咱們先不評(píng)論,有外媒直接指出,網(wǎng)友評(píng)論亮了!一網(wǎng)友表示“高盛的報(bào)告也就聽聽算了,真有預(yù)見性的話,也不至于2008年金融危機(jī)自己差點(diǎn)倒閉”。
還一網(wǎng)友表示“高盛這個(gè)說的太好了,讓他繼續(xù)麻痹西方,永遠(yuǎn)沉浸在自我陶醉之中。”
在現(xiàn)在網(wǎng)絡(luò)如此發(fā)達(dá)的時(shí)代,網(wǎng)友已經(jīng)不再那么單純了,都有自己的判斷,也有網(wǎng)友表示“荷蘭ASML用了二十年,我們中國(guó)必須要用二十年嗎,三年是吹,五年足矣!”
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恐怕大家應(yīng)該聽說過一個(gè)道理,那就是我們正式公開的,一般都不是最先進(jìn)的。我們雖然公開了65nm光刻機(jī),但相信我們實(shí)際上有了更先進(jìn)的,并且已進(jìn)入產(chǎn)線應(yīng)用。
試想下,為什么華為能做出7nm性能的芯片,難道美方會(huì)允許使用ASML光刻機(jī)嗎?
如今,我們正在推進(jìn)芯片國(guó)產(chǎn)替代,這就需要相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈全面國(guó)產(chǎn)替代,核心光刻機(jī)更不例外。其實(shí),背后我們正在構(gòu)建一個(gè)從光源、鏡頭到整機(jī)的完整光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈。
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當(dāng)前,我們國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的突圍路線本質(zhì)上是“成熟制程自主化與先進(jìn)制程技術(shù)儲(chǔ)備”的雙線作戰(zhàn)。現(xiàn)有的全自主國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)能夠解決28nm制程,成熟芯片已不受限制。
事實(shí)上,我們正在攻堅(jiān)28nm 浸潤(rùn)式 ArFi 光刻機(jī),一旦突破7nm甚至5nm制程更容易。同時(shí)還布局了EUV技術(shù),整體就是成熟制程保基本盤、先進(jìn)制程逐步突破。
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