僅次于光刻機！首臺國產氫離子注入機問世，打破歐美50年封鎖

導讀：僅次于光刻機！首臺國產氫離子注入機問世，打破歐美50年封鎖

中國芯片領域的“自主拼圖”，終于趨近圓滿了嗎？近日，中國原子能科學研究院正式公布一則極具分量的消息：我國成功研制出首臺自主研發的串列型高能氫離子注入機“POWER - 750H”，其核心指標已與國際先進水平持平，這標志著該設備已達成全面自主生產。

這是在芯片制造領域繼刻蝕機、薄膜沉積設備之后取得的又一重大突破。至此，除光刻機之外，芯片制造的“四大核心裝備”我們已集齊三項?？梢哉f，能夠自主生產目前所有已知芯片的時代已然近在咫尺。

在過去的50年里，離子注入機市場一直被美歐牢牢掌控，對我國實施長達數十年的禁運政策。即便在2022年禁運有所松動后，也僅以高價向我國出口低端設備。如今，國產技術取得突破，直接打亂了國際芯片產業的格局。美國的行業報告更是直言不諱地指出“中國將重塑全球芯片設備供應鏈”。

一、美歐的千層壟斷套路，我國50年的血淚史

離子注入機，若以更具象的表述，堪稱芯片的“基因編輯師”。其核心功能在于將離子注入硅片內部，以此調整材料的局部導電性能，確保芯片內部電路得以正常運轉。

然而，這款關鍵設備的技術壁壘極高。它不僅要確保離子束誤差被精準控制在納米級別，實現高能量穩定性，還需有效應對長時間工作所導致的設備損耗問題，在材料、精密制造等多個領域對技術的要求極為嚴苛。

由于具備上述特性，在過去相當長的時間里，該設備的制造與出口一直被美歐企業牢牢把持。上世紀50年代，美歐便率先開啟相關研究。憑借這一先發優勢，自70年代起，以美國應用材料、Axcelis等為代表的美歐企業持續壟斷相關市場。當時，聽聞我國計劃啟動自主研究，他們即刻下令對中國實施離子注入機禁運，美國企業甚至公然宣稱“要讓他們一臺也拿不到”。

2022年，美歐假意放寬禁令，向我國開放設備出口。實則是抓住我國急需設備開展研究的困境，以高出本土數倍的價格強行售賣，且僅提供過時機型，還附加苛刻的售后條款，延遲發貨更是屢見不鮮。數據顯示，2025年我國離子注入機進口額超過50億元，占全球進口量的42%，這無異于花費巨額資金購買“二手技術”，被美歐無情“吸血”，而我國為了獲取設備開展研究，只能暫時隱忍。所幸，這段艱難的歲月如今終于迎來了轉機。

二、50年的艱難突圍，從理論突破到反向出海

面對外部封鎖，科研人員從未消極以待、坐視不管。上世紀70年代，鄒世昌院士引領團隊率先開展科研攻關，以創新性思維利用低端設備達成了“低能離子束精準調控”，完成了原本需中高端設備方可開展的實驗，為后續相關研發奠定了堅實的理論根基。

在此基礎上，2009年，凱世通成功研制出首款低能國產機型并實現量產，有效滿足了中低端芯片制造的設備需求；2025年7月，華海清科在中高端設備領域取得突破；當下，“POWER - 750H”高能機型研制成功，其性能直接追平國際先進水平，標志著我國在離子注入機領域實現了從跟跑國際到并駕齊驅的全面跨越。

而這種在突破困境中所展現的堅韌決心，于不同領域的研究者之間薪火相傳。以曾被美歐抬高價格的航空發動機為例，我國現已成功制造出完全自主設計與制造的“長江2000”。

技術突破亦促使市場格局發生反轉。在離子注入機領域，同樣是捷報頻傳。電科裝備的中低端機型已批量出口至亞洲、美洲國家，2025年出口量較上一年同比增長35%。隨著高能機型的問世，未來中國離子注入機有望在全球高端市場占據一席之地。

三、全面自主在即，最后一塊拼圖何時到來？

高能氫離子注入機所取得的突破，使得芯片核心設備的自主化進程僅剩下光刻機這最后一片“拼圖”，而攻克這一難關也已初現曙光。

2025年，28nm浸沒式光刻機順利完成工藝驗證，并交付至頭部晶圓廠進行進廠驗證；高端EUV光刻機預計將于2026年實現規?；慨a，其實驗階段的穩定性已與ASML同款機型不相上下。

顯而易見，從離子注入機到光刻機，科技企業正逐一攻克“卡脖子”難題。當芯片制造的四大核心裝備全部達成自主可控之時，全球芯片市場必將迎來國產芯片的嶄新時代。

而這份突破背后所彰顯的堅韌不拔與自強不息的精神，也必將激勵更多領域打破國外壟斷，踏上自主發展的光明坦途。