美泛林集團捐贈日國立材料研究所項目，中國籍科研人員牽頭引關注

作者：王亞囡 來源：《日本華僑報》

半導體，主宰現代社會穩定運行的中樞器官。有人將之視為電子設備的心臟，有人將之譽為產業發展的原動力。得半導體者得天下，近年來出現的“半導體荒”困局，更從側面凸顯了半導體被定義為“戰略物資”的特殊地位。

2026年4月8日，全球頂級半導體設備企業泛林集團（Lam Research）在日本及北美相繼宣布，向日本國立材料研究所（NIMS）提供專項捐贈，并由達博（Da Bo）博士牽頭開展面向先進制程刻蝕裝備的等離子體接觸關鍵材料與核心部件研發及工程化，相關成果服務于以臺積電為代表的先進制程量產線。在當前全球半導體產業體系中，以捐贈形式公開并由中國籍科研人員主導關鍵技術研究的情況相當罕見，這一舉動亦被視為泛林集團對相關研究方向及達博團隊能力的直接認可。

此次合作的牽頭人達博，早年就讀于中國科學技術大學，獲理學博士學位，后進入日本國立材料研究所工作，現任主任研究員，長期擔任泛林集團—日本國立材料研究所聯合研究項目負責人，主要從事半導體電子束與刻蝕裝備關鍵材料及核心部件的研發與工程化。

工程方向所涉多為產業核心技術，相關細節對外披露有限。相較之下，達博團隊在基礎科學方向的持續探索更適合公開呈現，并形成了一系列具有原創性的研究成果。這些成果所呈現的，不僅是具體問題的突破，也折射出其獨特的研究路徑與問題意識——由此，亦可見其何以持續獲得國際頭部設備企業的關注與支持。

材料，改變世界

50納米，5納米，1納米……納米之后是什么？當實驗團隊一次次取得技術突破，如何實現量產就成為擺在桌面上的關鍵難題。面對只有十分之一納米的極微觀世界，先進裝備制造商已經將材料研究置于與裝備設計同等重要的地位。

“材料改變世界。”這是寫在日本國立材料研究所官網首頁被廣為人知的宣傳語。然而，這一國家級研究機構的口號提出者，正是中國籍科研人員——達博博士。這一表述更像是他多年科研生涯的自然總結，也因此更容易引發科研工作者的共鳴。

在日本國立材料研究所期間，達博團隊制備出世界第一塊圓柱對稱旋轉晶體——“一種突破傳統結晶學描述范式的全新晶體結構”。基于這一結構，團隊開創了“電子衍射光學”這一新方向，提出利用材料對電子的衍射來調控其運動軌跡，從而形成區別于傳統電磁透鏡的電子操控新方法，并為新一代并行電子束設備的發展提供了重要技術路徑。

在那個目力不可及的世界中可能發生的顛覆性變革，可以用一個通俗易懂的例子來描述。“過去是用電磁場把電子‘拉著走’，需要一整套龐大的設備才能控制少量電子；如果換成用材料本身來‘引導’電子，就有可能在指甲大小的結構里同時處理遠超以往規模的電子——設備從龐然大物變得極小，而在理論上，整體效率也有望實現跨數量級躍升，甚至達到數百倍乃至更高。”

天才構想，普惠民生

歷史上，從鋼鐵到單晶硅，材料領域的每一次新發現，都為科學技術帶來質的飛躍，推動人類文明發生劃時代的變革。

讀博期間，達博對非單晶也非準晶的第三類晶體結構的探索便已展開。通過近二十年間持續研究與積累，最終在日本國立材料研究所工作期間，達博率團隊實現了圓柱對稱旋轉晶體的制備，驗證了在材料領域的前瞻性構想，也為半導體裝備性能的躍升提供了重要基礎。

上排為原子結構示意，下排為對應的對稱性示意（積木類比）。

這一新型晶體所催生的技術路徑，不僅有望應用于半導體制造領域，也可能拓展至材料分析和量子計算等方向。

在此基礎上，達博團隊進一步總結出一種“從材料出發”的研發范式：以原子級制造手段，對半導體裝備中的關鍵材料進行精細調控，進而制成核心部件并集成到現有設備體系中，在真實工況下開展整機驗證，從而實現材料、部件到裝備的協同提升。

更為關鍵的是，這一路徑能夠借助半導體量產線的放大效應，將原子級制造的精細優勢逐步傳導至芯片制造環節，使微觀的材料優化最終體現在良率提升與制造成本的降低上。

由材料發端，經部件承接，向裝備延伸，從基礎研究走向工程實現，并完成從微觀尺度到產線表現的跨越，層層遞進，逐步成形。

研發之余，達博受邀在《神奈川經濟新聞》開設“半導體裝備材料最前線”專欄，結合研究成果進行系統性介紹，并從半導體裝備材料研究視角對產業發展進行闡釋。一手尖端技術，一手啟智科普，春風化雨，潤物無聲。

數個首次，創造歷史

泛林集團此次公開宣布對達博博士團隊的戰略性捐贈，被認為標志著多個具有代表性意義的“首次”。

作為業務遍布全球的行業領航者，泛林集團長期與多個國家及地區的科研機構保持合作，但以公開方式明確支持由中國籍科研人員牽頭的合作項目，在當前產業環境下亦屬少見。

達博的學術路徑，同樣疊印著一個又一個紀錄。一位中國籍研究者，能夠在世界頂級材料研究機構——日本國立材料研究所之中持續開展半導體裝備的相關研究，并在關鍵技術方向上形成穩定影響，已是難能可貴。達博于2016年獲得該所永久職位，是當時最年輕的研究人員之一；同時，他也是該所最高榮譽“理事長獎”的最年輕獲獎者。此后，他陸續獲得花王、日立、住友等多家日本財團的科研支持與嘉獎。

在國際舞臺屢屢斬獲殊榮，其研究價值已得到廣泛認可。而此次公開捐贈，更凸顯了達博的研究方向在國際技術體系中的重要位置，同時也折射出日本國立材料研究所在銜接基礎研究與產業需求方面所具備的系統性能力與競爭優勢。

2011年，以色列科學家丹尼爾·舍特曼憑借發現準晶而榮膺諾貝爾化學獎。這一遲來30年的殊榮，是對打破固有知識形態的堅守精神的肯定，也是對追求真理、發現未知的后來者的鼓勵。如今，在單晶和準晶之外實現圓柱對稱旋轉晶體制備的這一成果，被日本科學技術振興機構理事長橋本和仁評價為”具有與準晶發現相當的原創性意義”。

或許正如準晶的發現曾改變人們對晶體世界的認知一樣，新的結構與新的理解，正在悄然展開。至于它將通向何處，時間自會給出答案。