光刻機離了它就是廢鐵，佛山這工廠突破封鎖，讓ASML主動認證

芯片制造離不了光刻機，而光刻機又離不開高純混合氣體，這東西要是斷供，整條產(chǎn)線就得趴窩。佛山華特氣體這家企業(yè)，從普通工業(yè)氣體起步，硬是花了二十多年時間，把國外壟斷的電子特氣領域撕開一道口子。

2017年拿到ASML認證，成為國內唯一一家讓這家全球最大光刻機供應商主動推薦的產(chǎn)品供應商。

技術硬仗：2017年拿下ASML光刻氣認證

光刻機里的準分子激光器靠特定混合氣體激發(fā)產(chǎn)生紫外光束，這些氣體像氬氟氖、氪氖、氬氖、氪氟氖等，純度要達到6N級以上，雜質控制在百萬分之一以內，配比稍有偏差，價值幾千萬美元的晶圓就全廢。裝氣鋼瓶內壁處理是最大難題，國外企業(yè)對技術和設備卡得嚴，不對外提供。華特氣體靠自主研發(fā)，攻克內壁處理技術和配氣工藝。

經(jīng)過多年積累，2017年四款光刻混合氣通過荷蘭ASML公司全部認證環(huán)節(jié)，包括文件審核、樣品測試和工廠審計。ASML隨后將華特氣體列入合格供應商名單，并在使用手冊里建議客戶配套這些產(chǎn)品。公司成為全球第四家、中國唯一一家獲得此認證的氣體企業(yè)。這張認證直接打破了進口依賴，讓國內產(chǎn)線有了穩(wěn)定選擇。

供應鏈穩(wěn)固：從國內到海外的覆蓋

2019年日本對韓國實施高純氟化氫出口限制，三星和海力士產(chǎn)線受影響，國內中芯國際、長江存儲等企業(yè)開始大規(guī)模采用華特氣體產(chǎn)品。公司光刻、刻蝕和清洗系列氣體很快覆蓋國內8英寸以上集成電路制造廠商超過90%的產(chǎn)線。

2022年俄烏沖突導致烏克蘭氖氣供應中斷，全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈短缺，華特氣體依托國內鋼鐵廠空分副產(chǎn)品優(yōu)勢，快速增加氖氣、氪氣提純產(chǎn)能，及時穩(wěn)定了臺灣地區(qū)臺積電7納米和5納米制程。

產(chǎn)品通過渠道進入英特爾、美光、德州儀器和臺灣地區(qū)臺積電供應鏈。華特氣體光刻氣在國內市場份額約60%，實現(xiàn)50多款特種氣體進口替代。國外巨頭曾大幅降價搶市場，但國內廠商堅持用本土產(chǎn)品保障供應鏈安全。2019年12月公司在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，產(chǎn)能持續(xù)擴大。

平穩(wěn)過渡：2025年繼續(xù)前行

歐美國家搞“去工業(yè)化”，鋼鐵廠關得差不多了，連原料都湊不齊。2022年俄烏沖突，全球氖氣主要供應地烏克蘭斷供，全球缺芯，是華特、凱美特氣迅速填補了缺口，穩(wěn)住了臺積電的7nm/5nm制程。

2025年公司繼續(xù)推進稀有氣體純化項目，產(chǎn)品出口到50多個國家和地區(qū)。華特氣體從被人卡脖子到反向供應，靠的是實打實的工業(yè)積累和持續(xù)研發(fā)。這條路走得扎實，也給整個電子特氣行業(yè)打了樣。這一局中國贏在了“根”上，是工業(yè)體系的全面勝利。現(xiàn)在，華特的產(chǎn)品已經(jīng)打進了臺積電、英特爾、美光、德州儀器的供應鏈。