三星8.6代線玻璃基板破裂，遭遇靜電吸盤瓶頸

據(jù)透露，三星顯示器第8.6代有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）生產(chǎn)線（A6）去年遭遇了嚴(yán)重的生產(chǎn)困難，主要原因是靜電吸盤（ESC）相關(guān)的工藝穩(wěn)定性問題。有報(bào)道稱，由于靜電吸盤運(yùn)行不暢，導(dǎo)致玻璃基板破裂。盡管今年隨著生產(chǎn)條件的改善，良率有所提升，但據(jù)報(bào)道，京東方等顯示器廠商仍在努力確保第8.6代工藝的良率穩(wěn)定。

據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，三星顯示器在去年年底之前建設(shè)第8.6代OLED生產(chǎn)線時(shí)，由于靜電吸盤的緣故，大面積基板的貼裝和脫裝工藝遇到了困難。靜電吸盤是一種利用靜電力將玻璃基板吸附到底板上的裝置；它是實(shí)現(xiàn)精確沉積的關(guān)鍵部件，能夠保持大面積基板的平整度。此外，它還能通過控制氦氣和溫度來保證溫度均勻性和貼裝/脫裝的穩(wěn)定性。

尤其是在第8.6代OLED工藝中，靜電吸盤正成為決定量產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。這是因?yàn)榛宄叽缭龃螅瑥默F(xiàn)有的第6代OLED工藝（1500mm × 1850mm）增加到第8.6代OLED工藝（2290mm × 2620mm），需要控制重力引起的下垂。此外，由于OLED工藝需要在真空環(huán)境下沉積有機(jī)材料，因此需要同時(shí)保證基板的平整度、溫度均勻性和靜電控制；由此可見，靜電吸盤的重要性日益凸顯。

業(yè)內(nèi)人士指出，在沉積前后，基板與靜電吸盤的貼合和分離過程中都存在問題。據(jù)報(bào)道，有些情況下，即使移除電壓，貼合在吸盤上的基板也無法順利分離；或者相反，不穩(wěn)定的初始粘附會(huì)導(dǎo)致基板在過程中發(fā)生晃動(dòng)和斷裂。穩(wěn)定的基板附著需要精確控制靜電力、氦氣壓力和溫度條件；然而，如果為了增強(qiáng)附著力而提高電壓，殘留靜電可能會(huì)對(duì)薄膜晶體管 (TFT) 產(chǎn)生不利影響。也有人認(rèn)為問題出在日本佳能特機(jī) (Canon Tokki) 使用的沉積設(shè)備上。據(jù)報(bào)道，京東方 (BOE) 也正在努力解決這個(gè)問題。

有人擔(dān)心，如果這個(gè)問題得不到解決，可能會(huì)影響整個(gè)量產(chǎn)計(jì)劃。據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，三星顯示器計(jì)劃于今年第二季度開始量產(chǎn)，并在下半年為蘋果 MacBook Pro 供應(yīng)約 200 萬塊 OLED 面板。分析人士指出，如果制造工藝的穩(wěn)定進(jìn)程被延誤，可能會(huì)導(dǎo)致面板供應(yīng)無法滿足客戶的交貨期。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，即使在初始量產(chǎn)后同步進(jìn)行良率提升，也很難完全排除交貨期延誤的可能性。

一位業(yè)內(nèi)人士表示：“據(jù)我了解，三星顯示去年底在解決靜電吸盤問題期間，曾出現(xiàn)過玻璃基板破裂的情況。”另一位業(yè)內(nèi)人士也表示：“據(jù)我了解，他們?nèi)ツ暌灿龅竭^與靜電吸盤相關(guān)的問題。”他補(bǔ)充道：“三星顯示采用的是‘半切’沉積工藝，即將基板切割成兩半，但基板尺寸仍然超過一米。用靜電吸盤固定如此大尺寸的基板本身就是一項(xiàng)非常復(fù)雜的技術(shù)。”

然而，據(jù)報(bào)道，三星顯示目前正在通過綜合調(diào)整氦氣壓力、靜電條件和溫度均勻性來穩(wěn)定其工藝。據(jù)說良率已達(dá)到70%左右。盡管工藝有所改進(jìn)，但分析師建議，在確保穩(wěn)定的量產(chǎn)良率之前，切不可放松警惕。

另一位業(yè)內(nèi)人士表示：“據(jù)我了解，他們目前正在通過調(diào)整壓力和氦氣用量來提高工藝穩(wěn)定性。”他補(bǔ)充道：“由于他們并不一定需要達(dá)到80%的良率才能開始量產(chǎn)，因此他們似乎在持續(xù)投資8.6代生產(chǎn)線，并相信即使在進(jìn)入量產(chǎn)階段后，他們也能逐步提高良率并解決問題。”

此外，IT OLED市場本身的增長率也是一個(gè)影響因素。分析師指出，由于市場擴(kuò)張速度不及預(yù)期，三星顯示器別無選擇，只能采取較為保守的量產(chǎn)策略。

據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，盡管近期高清顯示器需求的增長提高了人們對(duì)IT OLED市場的預(yù)期，但實(shí)際擴(kuò)張速度依然緩慢。因此，京東方和維信諾等中國企業(yè)正在投資8.6代OLED技術(shù)。然而，人們擔(dān)心，如果市場擴(kuò)張未能支撐這一趨勢，可能會(huì)導(dǎo)致供應(yīng)壓力。

尤其值得注意的是，市場滲透率仍然很低，這被認(rèn)為是一個(gè)制約因素。根據(jù)UBI Research的數(shù)據(jù)，平板電腦、筆記本電腦和顯示器的OLED采用率分別為5.9%、4.4%和2.0%，表明OLED主要應(yīng)用于高端產(chǎn)品。UBI Research分析指出，“與LCD相比，價(jià)格競爭力的壓力依然很大。”

一位業(yè)內(nèi)人士表示：“據(jù)我了解，他們正在考慮調(diào)整量產(chǎn)速度，因?yàn)镮T OLED市場的規(guī)模仍然比預(yù)期要小。”他補(bǔ)充道：“盡管IT市場向OLED轉(zhuǎn)型的需求顯而易見，但目前OLED的應(yīng)用僅限于高端產(chǎn)品，因此他們必須考慮市場狀況。”三星顯示器一位負(fù)責(zé)人表示：“某些方面聲稱由于工藝問題導(dǎo)致量產(chǎn)計(jì)劃受阻的說法毫無根據(jù)。”他補(bǔ)充道：“目前，用于IT應(yīng)用的OLED生產(chǎn)線建設(shè)進(jìn)展順利，我們將按原計(jì)劃開始量產(chǎn)。”

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