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美媒評價中國組建國產(chǎn)ASML一事:想法很大膽,但是執(zhí)行起來很困難,有兩個難以逾越的壁壘

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由中芯國際聯(lián)合創(chuàng)始人王陽元、長江存儲董事長&第八屆中國半導體協(xié)會理事長陳南翔等人聯(lián)合撰寫的《構(gòu)建自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)體系》報告已經(jīng)發(fā)布在我國的《科技導報》上面。

這些處于中國半導體產(chǎn)業(yè)一線的從業(yè)者們在報告當中提議,建議國內(nèi)組建一個類似于ASML的公司,集成所有技術去攻克EUV光刻機,然后組建多個大型半導體集團,在EDA工具、制造設備、配套材料上面與外國企業(yè)進行競爭。

首先就是設備問題,美媒認為,即便中國企業(yè)開發(fā)出了國產(chǎn)先進光刻機,那么也需要多年時間進行優(yōu)化,提升其整體的經(jīng)濟性和可持續(xù)性。只有當原型機的制造效率足夠高,才能進入下一步的規(guī)?;慨a(chǎn)。

其次就是制造數(shù)據(jù),ASML能成功,很大程度上歸功于制造商常年累計的海量制造數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)可以幫助企業(yè)更好地優(yōu)化產(chǎn)品并開發(fā)新設備,這需要常年的技術積累,也是中國半導體產(chǎn)業(yè)需要重點克服的問題。


ASML的初代EUV原型機在2006年交付給了比利時微電子中心進行測試,但是由于該設備的激光性能很弱,根本沒辦法制造芯片。后來美國西盟公司開發(fā)出了更高性能的激光,于是ASML就在2010年采用西盟公司的技術,制造了第二臺EUV原型機TWINSCAN NXE:3100。

2019年,ASML的EUV光刻機實現(xiàn)量產(chǎn),開始交付給臺積電進行商業(yè)化使用。

從2006年至2019年,ASML一直在解決光刻機的制造效率以及量產(chǎn)問題。解決這個問題只靠ASML一家公司是完成不了的,必須要聯(lián)合供應鏈以及制造工廠,依照彼此之間的技術數(shù)據(jù)進行優(yōu)化。

ASML高級技術副總裁喬斯·本肖普在官方資料中表示,當時我們已經(jīng)掌握設備的原理,但是我們卻難以實現(xiàn)客戶所需的生產(chǎn)效率。

要記住,客戶的研發(fā)階段需要時間,這很重要。在EUV推出之后,芯片制造商需要一到兩個節(jié)點才能使這項技術走向成熟,只有成熟掌握其使用方法,才能基于該設備量產(chǎn)商用產(chǎn)品。


在根據(jù)制造數(shù)據(jù)來優(yōu)化產(chǎn)品之前,首先要完成的工作就是把國產(chǎn)設備用起來。

我國中科院的陳國良院士,此前在接受采訪時表示:我提出了一個口號,國產(chǎn)機不怕不好用,就怕你不用,只有用了才知道好不好用。你說哪里不行,你提出來,我改。你要是不用,那就因噎廢食了,它永遠不好用。


陳院士對于國產(chǎn)設備的認知是非常具有前瞻性眼光的,并且陳院士認為,推動國產(chǎn)設備發(fā)展的前提是你得先用起來,不能看到國外的產(chǎn)品技術成熟度高,就一直拿錢買國外的設備用,從而忽視國產(chǎn)設備的發(fā)展。

在能獲得國外設備的前提下,采購國外設備用是一種合作共贏的模式。但現(xiàn)在國外的許多設備不賣給你了,你應該怎么辦?許多國產(chǎn)設備雖然不如國外的技術先進,但是能在關鍵時期拿出來用。


2025年,有記者再次就國產(chǎn)設備問題采訪陳國良院士,咨詢陳院士如今的觀點。

陳院士依然肯定了自己當年的想法,并且還表示在技術團隊以外的地方講話,我們應該表揚宣傳團隊做出的貢獻。但是在團隊內(nèi)部講話,就要經(jīng)常提出不好的地方讓團隊改進。用這種內(nèi)外結(jié)合的方法,推動國產(chǎn)設備發(fā)展。

這就又回到了剛才的問題上,單獨依靠制造企業(yè)或者設備企業(yè)自己的力量是無法完成產(chǎn)品優(yōu)化的,必須聯(lián)合整個產(chǎn)業(yè)鏈一起解決問題。

我國中科院院士、前中科院院長白春禮先生,曾重點分析了中國光刻機與外國光刻機存在的差別。

白院士指出,在六七十年代的時候,中國的光刻機與國外的差距并不大,那時候ASML公司還沒有成立。但是后來進入全球化體系,國外的產(chǎn)品成熟、價格穩(wěn)定、整體設計也很好,所以我們國內(nèi)的設備就發(fā)展不起來了。

質(zhì)譜儀、電鏡這類產(chǎn)品我們都能做,但是國外的產(chǎn)品又好又便宜,很多企業(yè)本著經(jīng)濟性原則,選擇采購國外的設備。但是現(xiàn)在反過來了,外國企業(yè)不賣給我們,那么好,我們自己就必須做了,這種倒逼機制也許會讓我們的產(chǎn)業(yè)更上一層樓。


全球化的半導體產(chǎn)業(yè)鏈可以推動整個行業(yè)發(fā)展,也為合作的雙方創(chuàng)造了各取所需的經(jīng)濟條件,但同時也讓中國本土企業(yè)所開發(fā)的國產(chǎn)設備變成了第二選擇目標。

絕大部分企業(yè)都會考慮到穩(wěn)定性和經(jīng)濟性,優(yōu)先選擇海外成熟設備,這就導致國產(chǎn)設備處于一個不溫不火的尷尬境地。

美國的制裁讓中國芯片產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)了技術停滯,國產(chǎn)制造設備也在這種狀態(tài)下被推上了風口浪尖。此時的產(chǎn)業(yè)鏈才真正意識到國產(chǎn)設備的重要性,開始大力度推進國產(chǎn)設備的技術發(fā)展,深化國內(nèi)企業(yè)之間的合作。

雖然這個深化合作的時間來的晚了一些,但這是建立在推動國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈自立自強的前提下所爆發(fā)出來的決心。

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