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作者丨Lucas
編輯丨劉恒濤
圖源丨靈明光子
SPAD芯片是激光雷達關鍵的光電探測器,被視為“光子捕手”,即使在極暗環境,也能敏銳捕捉到微弱的光信號,進行環境感知。可以說,SPAD芯片決定了激光雷達的性能,是激光雷達的核心組件之一。
早期SPAD芯片依賴定制化的特殊工藝,工序繁瑣、依賴人工,生產效率較低,也拉高了生產成本。
2018年,斯坦福博士臧凱成立靈明光子,基于自己的研究成果,用標準的CMOS工藝生產,成功將SPAD芯片的價格從當時的5000元降至800元,大幅降低了國產激光雷達的成本。2024年,靈明光子迎來激光雷達的市場爆發期,其產品已進入國內頭部廠商的供應鏈,成為多家主流客戶的芯片供應商。
作為國內最早將SPAD芯片生產兼容CMOS工藝并實現量產的公司,靈明光子自成立以來,已獲得小米科技、歐菲光、OPPO、美團龍珠、高榕創投等機構融資。
1月15日,2025創業邦100未來獨角獸榮耀發布,靈明光子成功登榜。
“創業邦100”榜單堅持16年,始終以發掘“未來3-5年商業變革力量”為使命。過去十六載,我們已助力1295家高成長企業啟航,其中191家成功晉升獨角獸,其中2015和2019兩年,就有52家集中涌現。
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突破關鍵技術
打通SPAD產業化路徑
臧凱1989年出生于山東東營,一座因中國第二大油田——勝利油田而生的城市。作為一個石油移民城市,這里一切圍繞著石油運轉。
出生于工人家庭的臧凱,從小癡迷技術,喜歡探究事物背后的底層原理。2007年考入北大后,臧凱學習了大量編程課程,為了弄清楚計算機內部運行機制,他選擇了更能觸及硬件本質的電子工程系。北大畢業后,臧凱進入斯坦福大學,攻讀半導體方向的碩士、博士學位。
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按信號處理方式分類,半導體芯片可分為三類:處理電信號的電芯片,比如CPU、GPU;處理光信號的光芯片,比如純光調制器、光開關等。光電芯片做的是光電互相轉換和信號處理。SPAD芯片,就是將光信號轉換為電信號的光電芯片。
讀博期間,臧凱把研究方向定在光電芯片。這項技術融合了光芯片和電芯片的各自優勢,既能利用電芯片進行邏輯運算與分析,又能借助光芯片實現信息的高速、低功耗傳輸。他預見,隨著未來10年云計算、大數據及人工智能的爆發,市場對高速、高效、低耗能的數據傳輸和處理需求將擴大。這意味著,未來10到20年,光電芯片將在消費市場迎來機遇。
但光電芯片技術在當時過于前沿,尚未出現大規模應用。
為了尋找應用方向,臧凱將實驗項目視為其創業項目,用天使投資人的心態和視角來做科研,嘗試找出能夠產業化的項目。最終,他選擇了以各種光電芯片為核心器件的激光雷達。
選擇激光雷達,是因為臧凱看到了產業化機會。
2012年,谷歌的無人車開始公開路測,但車頂上的激光雷達,體積大且價格昂貴,單個售價要數萬元美元。這使得無人車無法獲得大規模應用。行業共識是,激光雷達需要變小、需要降價,才能突破這一瓶頸。
問題在于,激光雷達內部的精密器件,采用“分立組裝”工藝。這種方法相當于將每個器件先各自獨立制造,再組合一起,導致激光雷達體積很大。此外,這種工藝在制造過程中需要人工逐個組裝調試,效率較低,難以量產降本。
臧凱認識到,激光雷達要小型化、低成本,需要對其內部的光電芯片采用新的生產工藝。而要適應這套新工藝,就要對光電芯片的結構進行改良。于是,他開始研究相關改良方法,2017年,臧凱的研究獲得突破,研究成果發表在國際學術期刊《Nature Communications》。這項研究成果,被視為SPAD效率和精度平衡的里程碑,為單光子探測芯片產業化開辟了關鍵路徑。
2018年,臧凱回國后,與兩位聯合創始人創立靈明光子。這兩位聯合創始人,一位是他在斯坦福時的學長,另一位是荷蘭代爾夫特理工大學的博士。他們的目標很明確,要將研究成果進行應用,用成熟的CMOS工藝生產激光雷達芯片。
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兼容CMOS
造出百元級激光雷達芯片
激光雷達就像汽車的“超級眼睛”,不僅能感知環境,還能測量物體與車身的距離。它的工作原理是發射激光,再回收反射光,從而計算出環境信息。這其中,SPAD光電芯片專門負責接收光線,并將光信號轉換成電信號,非常關鍵。
SPAD芯片占激光雷達成本的40%,在2017年海外售價高達5000美元。而且,SPAD芯片要正常工作,還要在外圍配套一系列器件,導致整個接收模組占據很大的空間。
做體積小、低成本的激光雷達,臧凱采用的是電芯片的CMOS工藝。
CMOS是制造電芯片的生產工藝,是一種成熟的生產技術,能在一塊硅基底上一體化集成各種器件,縮小芯片體積。而且,CMOS工藝擁有大量現成的半導體產線可代工,通過批量生產,極大攤薄單個器件的制造成本。而行業主流的SPAD生產,需要定制非標準化的產線,成本高,也難以大規模普及。
用CMOS工藝做SPAD,這條路行業探索已久,卻始終走不通。究其原因是,CMOS工藝采用的硅層很薄,在特定光波段下的光子還沒被吸收就直接穿過去了。這導致SPAD芯片接收光線的能力較差,也讓激光雷達成像變得模糊。
基于臧凱2017年發表的論文思路,靈明光子設計了一種“光捕獲”的新型架構:在SPAD芯片表面制作了特殊的納米結構,改變光子的傳播路徑。當光子進入后,該結構會將其轉為水平方向傳播,使得光子在硅層內進行長距離的“跑動”,增加光子被硅材料吸收的概率。這項SPAD生產技術工藝與標準 CMOS 兼容,也意味著基于CMOS工藝,SPAD可單片集成、低成本量產。
同時,為了讓“光捕捉”結構兼容進CMOS工藝,臧凱又專門開發了“光刻重排”和“TMAH濕法蝕刻”兩項關鍵工序,用來制造模型并刻在硅層上。
為驗證這套理論的可行性,臧凱在斯坦福納米制造實驗室嘗試實踐,成功制造出具有“光捕獲”結構的SPAD芯片。測試數據顯示,相比于無“光捕獲”版本,該芯片將光轉換為電信號的效率提升了3倍。
臧凱將這一設計工藝帶回中國,和國內供應鏈伙伴一起,在現有CMOS產線的基礎上進行改良,最終實現“光捕獲”結構SPAD芯片的量產交付。
靈明光子成為國內最先使用CMOS工藝量產SPAD芯片的公司。當時,同期的國內企業在使用定制化、非標準的化合物半導體工藝,只能進行小批量生產。臧凱表示:“國內同級別SPAD芯片價格要到1500元,但我們的芯片能降到800元。”
目前,靈明光子最新一代SPAD芯片能生成44萬像素的圖像。這是主流最高水平,足以覆蓋絕大多數激光雷達產品的需求,用于感知和測量周邊環境信息,可應用在新能源汽車、無人機、掃地機等產品上。
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靈明光子芯片產品圖
不過,即使感光能力再強,激光雷達的圖像在視覺效果上仍是由顆粒堆砌而成的灰度畫面,只能勾勒出物體的輪廓,用于識別物體的空間位置。在成像清晰度上,其無法與攝像頭相比較。
但臧凱認為,激光雷達未來趨勢是更像攝像頭,體積更小、成像更清晰,這是因為機器人、智能駕駛等產品既需要測量環境距離,也要清晰看清周邊物體,這樣才能安全、穩定地執行任務。而這一切,都有賴于SPAD芯片的不斷升級迭代。
靈明光子正在推動激光雷達“攝像頭化”,目前正調試200萬像素的SPAD芯片,未來規劃了800萬、1200萬、4800萬像素的產品,當像素足夠清晰,激光雷達能達到攝像頭拍攝的效果。比如,它不僅能感知到“那里有一棵樹”,還能感知樹的復雜形狀、每根樹枝的走向。
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瞄準AR/VR眼鏡
提前五年布局
靈明光子的SPAD芯片已搭載在多個頭部激光雷達產品上。公司推出了六款芯片型號,其中ADS6311累計出貨量超50萬顆,預計2026年全年出貨達百萬顆。據了解,華域電子、亮道智能等客戶都將靈明光子作為核心的SPAD芯片的供應商進行技術研發。
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ADS6311
公開資料顯示,近年來,靈明光子營業收入連續翻倍增長。
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在此之前,靈明光子的創業之路不輕松。臧凱也說,在靈明光子成立頭幾年,日子最難過,因為接不到訂單。
2021年,激光雷達的前景仍不明朗。特斯拉堅持其純視覺方案,導致國內車企對激光雷達路線猶豫不決;消費電子領域也未找到激光雷達的應用場景。
臧凱回憶,那是團隊最迷茫的時期,團隊曾考慮過放棄這個項目,或者將這項技術應用到其他領域。質疑聲不絕于耳:“特斯拉都不用,你們做這個有啥用?”作為負責人,他白天要表現得信心十足,晚上常常一個人為此焦慮。臧凱經常把團隊召集一起,希望給予大家更多信心。他讓大家想象未來十年,公司產品能用在什么地方。每一次這樣交流,團隊成員都會有所啟發。
臧凱也很感激產業資本給了他們支持,上汽集團和美團就是其中之一。“在行業都不看好的時候,上汽用自有資金投了我們。他們說,‘我們對行業看得很清楚。現在沒有訂單,但未來一定會有。我們投了錢,也請你們相信我們的判斷。’”
轉機出現在2023年,以城市NOA為代表的高階智能駕駛技術落地。面對中國城市路況的復雜性,純視覺方案在夜間、強光等環境下會被嚴重干擾,且研發成本大、周期長。而激光雷達成本已大幅下降,且在極端環境下也能識別障礙物,因此多家車企開始將激光雷達作為高端車型的標配。
市場大門打開,靈明光子基于CMOS工藝的芯片方案,因其在成本、可靠性和量產能力上的優勢,獲得了諸多激光雷達廠商的訂單。
在半導體這個技術迭代極快的行業,選準方向幾乎決定未來。
在臧凱看來,未來5到10年,世界將進入三維視覺時代,AR/VR眼鏡等空間計算設備將迎來發展浪潮。由于部分AR/VR眼鏡具備3D空間模型功能,需要通過激光雷達對物理空間的實時測量與定位,并在此基礎上實現清晰成像。而激光雷達性能的提升,最終也要落到SPAD芯片的持續升級上。
“要用十年后的思維想問題,提前五年進行布局,在趨勢到來時才能站在最前方。”臧凱如今花大量時間思考未來五到十年的路,并對未來充滿信心。
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