中科儀：中科院旗下真空泵龍頭，70年鑄就中國高精尖產業發展基石

1879年10月，愛迪生團隊在歷經數千次試驗、測試1600多種材料后，終于制成第一個可供實用的碳絲燈泡。然而，通電后的碳絲瞬間燒斷，其癥結在于高溫碳絲與空氣中的氧氣發生劇烈反應。為解決這一難題，愛迪生團隊改進了當時尚屬原始的真空泵，成功將玻璃泡內空氣抽離。在真空環境下，碳絲最終實現了穩定發光。

此后，隨著工業與科技的突飛猛進，人們發現真空環境對于許多高精尖研究而言都不可或缺，這極大地推動了真空泵技術的發展。時至今日，真空泵已成為集成電路、光伏、重大科技基礎設施等領域不可替代的核心裝備。而中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）正是我國真空技術領域的重要企業。公司數十年如一日深耕此領域，多次打破國外技術壟斷，為國家的重大科學研究提供了堅實支撐。1月16日，這家領先的真空泵供應商即將在北交所上會，攜近70年的深厚技術積淀，開啟資本市場新征程。

中國真空技術發展推動者，持續賦能戰略新興產業

真空技術的價值，深植于每一個高精尖產業的細微環節之中。

在集成電路制造車間，一片12英寸晶圓需經歷上千道工藝，其中15個核心環節有11個依賴真空環境——光刻時需隔絕空氣避免光線折射，刻蝕時需防止雜質影響線路精度，薄膜沉積時需保證涂層均勻。缺乏可靠的真空環境，芯片良率將急劇下滑，甚至導致整條產線停產。

在光伏產業，晶體生長和電池片鍍膜過程中，真空環境能有效提升硅材料純度，直接決定太陽能電池的轉換效率。而在國家重大科技基礎設施領域，如北京正負電子對撞機、上海同步輻射光源等“國之重器”，更是需要超高真空環境來保障粒子加速和實驗的精確性。

真空泵是實現上述要求的關鍵設備。然而，在很長一段時間里，中國高端真空泵市場被英國Edwards、日本Ebara等海外巨頭壟斷。這些企業憑借數十年技術積累，曾占據國內集成電路領域主要的市場份額，不僅定價高昂，更在關鍵時期存在斷供風險。對于中國半導體產業而言，真空泵的“卡脖子”問題，猶如汽車缺少核心發動機，再先進的生產線也難以順暢運轉。

中科儀的崛起，恰逢其時地填補了這一空白。

公開資料顯示，中科儀的歷史可追溯至20世紀50年代中科院下屬的真空科研事業單位。自成立以來，公司始終專注于這一細分領域。1979年，中科儀成功研制出中國第一臺分子束外延設備（MBE），打破了國外禁運，并先后參與北京正負電子對撞機、蘭州重離子加速器等11項國家重大科技基礎設施建設，并為上海同步輻射光源提供了70%以上的前端區設備。2001年，公司成功研發出用于科研領域的渦旋干式真空泵，實現了清潔真空環境，開啟了干式真空泵國產化的序幕；2017年，公司承擔的國家重大專項成果——干式真空泵產品取得重大突破，實現在中芯國際多條產線的批量應用，成為首個批量應用于集成電路制造工藝的國產真空獲得設備制造企業。徹底打破了國外企業在該市場的壟斷地位。

值得一提的是，國家集成電路產業基金作為公司重要股東，持股比例達19.73%，其戰略投資不僅為公司發展提供了資金支持，更彰顯了公司在集成電路核心零部件領域的行業地位與發展潛力。

中科儀亦不負所望，歷經多年發展，公司已成為國內集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵企業，累計出貨量超4萬臺（其中集成電路領域超3萬臺），2024年國內市占率達12.72%。尤為重要的是，公司是唯一能在14nm先進制程實現批量應用、唯一能覆蓋清潔/中等/苛刻全工藝的國產廠商。

硬核實力構建壁壘，多領域驗證彰顯價值

基于深厚的技術積淀，中科儀形成了以干式真空泵和真空科學儀器設備為核心的產品體系。

其中，干式真空泵是公司主要的收入來源，2024年收入占比達72.44%。具體而言，中科儀干式真空泵分為L、M、H三大系列：L系列專攻清潔工藝，抽速110-1000m3/h，具有能耗低、體積小的優勢；M系列面向中等工藝，突出耐腐蝕性和溫度可控性；H系列則針對苛刻工藝，抽速可達600-2800m3/h，能耐受強腐蝕和高粉塵環境，廣泛應用于集成電路、光伏、化合物半導體等領域。截至目前，公司已推出近四十款不同型號的干式真空泵，能夠適配AMAT、LAM Research、北方華創、中微、拓荊等30余家國內外主流設備廠商的數百種機臺，堪稱為不同應用場景量身定制的“潔凈衛士”。

公司的真空科學儀器設備主要服務于國家重大科技基礎設施和前沿科學研究，客戶多為高校、科研院所，2024年收入占比為16.22%。其中，MBE設備已迭代至第六代，累計交付60余臺，成功打破了《瓦森納協定》對我國的禁運限制；為上海同步輻射光源提供了32條前端區中的23條、34條光束線中的18條，技術水平達到國際先進。

這些豐碩的技術成果，源于中科儀強大的研發體系。公司源自中科院，擁有真空技術裝備國家工程研究中心、國家真空儀器裝置工程技術研究中心、國家企業技術中心三個國家級研發平臺。依托于此，公司持續加大研發投入，近三年（2022-2024）研發投入分別為6,008.05萬元、8,465.08萬元和11,008.08萬元，不斷深化技術積累。截至2025年6月30日，中科儀已擁有發明專利100項，并作為主要起草方參與制定了13項真空技術相關的國家、行業及團體標準，使技術創新成為驅動企業發展的核心引擎。

此外，公司技術實力多次獲得權威認可，曾先后獲國家科學技術進步特等、一等、二等、三等獎共6項，中國科學院及省部級科學技術進步獎20余項，其中多項成果填補了國內技術空白。

業績增長驗證技術，優質客戶奠定基礎

技術的價值，最終需要通過市場表現和財務業績來驗證。中科儀持續增長的財務數據，正是技術創新與產業需求同頻共振的最佳體現。

招股書顯示，2022至2024年，公司營業收入從6.98億元穩步增長至10.82億元，復合增長率達24.51%；

同期公司扣非歸母凈利潤從6,186.11萬元增至8,787.75萬元，復合增長率為19.19%。

進入2025年，公司業績增長勢頭不減，前三季度營收同比增長21.93%，扣非歸母凈利潤同比增長8.04%，在行業波動中展現出穩健的增長韌性。

這份增長背后，離不開優質客戶群的廣泛認可與信賴。在集成電路領域，中科儀的產品已進入國內各大主流晶圓廠，并成功通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證，實現小批量出貨；在光伏領域，2023年公司對隆基綠能的銷售收入達1.59億元，占當年營業收入的18.67%，成為其核心供應商；在科研領域，中國科學院高能物理研究所、中國科學技術大學等頂尖科研機構長期選用其真空科學儀器設備。

從實驗室的技術突破到產線的規模化應用，從中科院的科研項目到上市公司的業績增長，中科儀成功完成了從技術研發到商業落地的完整閉環，讓國產真空技術不僅實現了自主可控，更具備了強勁的市場競爭力。

政策市場雙重驅動，募投擴產開拓空間

隨著“十四五”規劃圓滿收官，我國經濟發展在“十五五”期間迎來新的戰略目標：既要大力發展新型工業化以取得高質量發展顯著成效，同時必須持續推進科技自立自強，實現重點領域關鍵核心技術的快速突破，深化科技創新與產業創新融合，顯著增強創新驅動效能。值得注意的是，“十五五”規劃明確強調了集成電路、高端儀器等關鍵領域的核心技術攻關，而“雙碳”目標則持續推動光伏產業規模擴張，這些政策導向為真空技術帶來了廣闊的市場前景。

從市場需求端看，近年來人工智能、自動駕駛、物聯網、機器人等新興產業蓬勃發展，對算力、存儲、傳感器的需求激增，有力推動了集成電路產業的持續向好。根據SEMI統計數據，全球晶圓廠設備銷售額近年來保持增長態勢，2024年達到創紀錄的1,042.7億美元，預計2025年將增長至1,107.7億美元。隨著新晶圓廠項目啟動、產能擴張及技術迭代，SEMI預計2026年銷售額將躍升至1,221.0億美元，較2025年大幅增長10.23%。

另一方面，在產業政策推動、技術持續進步和成本不斷下降的共同作用下，中國光伏產業中長期發展前景依然光明。光伏年新增裝機容量從2020年的48.2GW飆升至2024年的277.57GW，年均復合增長率達驚人的54.91%。中國光伏行業協會（CPIA）預計，到2030年，我國光伏新增裝機容量將達到280-300GW。

在政策與市場的雙輪驅動下，真空泵市場規模持續擴容。根據SEMI預計數據及測算，2024年全球集成電路領域干式真空泵市場規模約125.74億元。中國作為全球最主要的集成電路市場之一，在政府大力支持下制造能力迅速提升。據SEMI數據測算，2024年中國大陸集成電路領域干式真空泵市場規模約52.11億元。另據CPIA《2023-2024年中國光伏產業年度報告》及iVacuum真空聚焦測算，2024年我國光伏領域干式真空泵市場規模約47.0-57.2億元，國產替代空間依然廣闊。

面對廣闊的市場機遇，中科儀已前瞻布局。本次IPO，公司擬募集資金8.25億元，主要投向以下三個項目：

其中干式真空泵產業化建設項目達產后，公司各類干式真空泵年產能將提升至2.65萬臺，進一步強化生產制造優勢，滿足市場持續增長的需求。

高端半導體設備擴產及研發中心建設項目聚焦于H系列干式真空泵。該系列產品是集成電路設備（如刻蝕、PVD、CVD等工藝）中的重要配套設備，同時也可應用于包括光伏在內的泛半導體領域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發項目則旨在針對半導體領域研發超高速節能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產品；同時面向泛半導體、工業真空、儀器制造及科學研究等市場，開發大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機組。項目完成后將極大豐富公司產品線、增強技術優勢，并進一步拓展干式真空泵的應用場景和市場空間。

資本市場稀缺標的，自主可控關鍵力量

從中科院的實驗室到半導體工廠的產線，從“兩彈一星”時期的技術攻關到當下的國產替代浪潮，中科儀的歷程，正是中國真空技術從無到有、從弱到強的生動縮影。

從資本市場視角審視，中科儀具備顯著的稀缺性與先進性。公司不僅身處集成電路、光伏等高增長賽道，擁有穩定的優質客戶群和亮眼的業績表現，更具備清晰的募投規劃與可持續的成長路徑。在國產替代加速、科技自立自強的時代洪流中，其未來的成長具有高度的確定性。隨著IPO進程的推進，中科儀不僅將實現自身技術價值與市場價值的同步躍升，更將為中國高端裝備制造業的自主可控貢獻更為堅實的力量。