天津
（全球TMT2026年3月19日訊）自2025年完成對韓國領先化合物半導體晶圓檢測企業EtaMax的收購以來，HORIBA持續推進雙方技術整合。值此SEMICON China 2026召開之際，HORIBA將首次全面展示整合后的檢測方案，搭載HORIBA光譜技術的EtaMax樣機將于2026年下半年部署至上海嘉定厚立方（C-CUBE），讓中國客戶在家門口即可體驗新一代檢測技術。
在Lab端，HORIBA在拉曼光譜、光致發光（PL）光譜、橢圓偏振光譜等尖端分析技術領域積淀深厚，是材料研發階段“看清本質”的關鍵工具；在Fab端，EtaMax的加入補齊了最關鍵的一環——其PL晶圓檢測技術將實驗室級別的光譜精度，轉化為產線級的自動化量測能力，實現對量產晶圓的全方位“體檢”。同時，EtaMax帶來PLATO系列、MiPLATO-SiC系統、PLIMA-LED系列三大技術平臺，直擊不同工藝節點量產痛點。HORIBA依托其位于上海嘉定、投資超5億人民幣建成的厚立方（C-CUBE），正加速推進EtaMax技術的本土化承接。
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